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元素分析测试方法

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  X射线能谱:X射线能谱是微区成分分析最为常用的一种方法,其物理基础是基于样品的特征X射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时,会在内层电子处产生一个空缺,原子处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺,从而释放出具有一定能量的特征X射线。
 
  电子能量损失谱:入射电子穿透样品时,与样品发生非弹性相互作用,电子将损失一部分能量。如果对出射电子按其损失的能量进行统计计数,便得到电子的能量损失谱。由于非弹性散射电子大都集中分布在一个顶角很小的圆锥内,适当地放置探头,EELS的接受效率会很高,相比EDS分析,EELS的记谱时间更短,特别是用于小束斑分析薄样品时。
 
  EDS在探测轻元素(Z<11)时只有1%的信号能接收到,且谱线重叠比较严重,而EELS的能量分辨率(1eV)远高于EDS(130eV),因此,EELS在探测轻元素方面更有优势;而且,除了对样品进行定性和定量的成分分析外,EELS的精细结构还可提供元素的化学键态、最近邻原子配位等结构信息,这是其他电子显微分析方法所不能比拟的。
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